將臭氧應用到新應用中的一個常見問題是臭氧將如何影響我們現有的材料。下面是一個有用的圖表，顯示了常見材料對臭氧氧化的抵抗力。
A =優秀 - 在正常操作中不受臭氧影響
B =良好 - 一些來自臭氧的氧化，這些材料可以在低臭氧濃度或短期（少于6個月）的情況下使用
C =一般 - 臭氧氧化的主要影響，這些材料應僅用于短期應用或極低的臭氧水平
D =差 - 很快就會注意到臭氧的嚴重氧化。
| ABS塑料 | B - 很好 |
| Acetal（Delrin®） | C - 公平 |
| 鋁 | A - 很棒 |
| 黃銅 | B - 很好 |
| 青銅 | B - 很好 |
| Buna N（丁腈橡膠） | D - 差 |
| 碳素鋼 | C - 公平 |
| 鑄鐵 | C - 公平 |
| 陶瓷的 | A - 很棒 |
| ChemRaz（FFKM） | B - 很好 |
| 銅 | A - 很棒 |
| CPVC | A - 很棒 |
| EPDM | B - 很好 |
| 碳氟化合物（FKM） | A - 很棒 |
| 哈氏合金C？ | A - 很棒 |
| HDPE | B - 很好 |
| 海帕倫 | A - 很棒 |
| HYTREL® | C - 公平 |
| 全氟醚橡膠 | A - 很棒 |
| 凱爾 - F® | A - 很棒 |
| LDPE | C - 公平 |
| 天然橡膠 | D - 差 |
| 氯丁橡膠 | C - 公平 |
| 改性聚苯醚 | B - 很好 |
| 尼龍 | D - 差 |
| 聚碳酸酯 | A - 很棒 |
| 聚醚醚酮（PEEK） | A - 很棒 |
| 聚乙烯 | B - 很好 |
| 聚丙烯 | B - 很好 |
| 聚氨酯 | A - 很棒 |
| PTFE | A - 很棒 |
| PVC | C - 很差 |
| PVDF（Kynar®） | A - 很棒 |
| 有機硅 | A - 很棒 |
| 不銹鋼 - 304 | B - 很好 |
| 不銹鋼 - 316 | A - 很棒 |
| 鈦 | A - 很棒 |
| TYGON | B - 很好 |
| 氟橡膠 |
A - 很棒 |
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